1

纳米薄膜沉积系统（原子层沉积设备）

EPEALD-100R

2020002860

曾斌建

18711125946

2

低温真空探针台

SCG-0-4

2020002862

彭强祥

13187328283

3

磁控溅射沉积系统

PRO     Lion PVD75

2020002863

曾斌建

18711125946

4

铁电分析仪

TF     Analyxer 3000

2020005235

彭强祥

13187328283

5

半导体器件参数测试分析系统

B1500A

2021003792

曾斌建

18711125946

6

真空快速退火炉

RTP-150-LC

2021003793

曾斌建

18711125946

7

材料微纳米综合测试仪

Triobindenter

20060330

龚伦军

15367326959

8

透射式电子显微镜

JEM-2100

20100646

龚伦军

15367326959

9

物理气相沉积设备

E850

18000094

郭进伟

18773226113

10

脉冲激光沉积系统

PLD-5000

20092233

宋宏甲

15173231103

11

光刻机

20141401

龚伦军

15367326959

12

离子刻蚀机

20141402

龚伦军

15367326959

13

扫描电子显微镜系统

EVO     MA10

19002511

吴煜

18670926835

14

X射线多晶粉末衍射仪

U1tima     IV

20142628

吴煜

18670926835

15

高分辨场发射扫描电子显微镜

Apreo     S

2021007573

吴煜

18670926835

16

原子力显微镜

MFP-3D     Infinity

18004301

刘艳

18773226132

17

高温量热仪

96Line

20090654

李聪

16607326722

18

差示扫描量热仪

DSC404F3

20131161

李聪

16607326722

19

高温显微维氏硬度计

HTV-PHS30

2020004065

堵艳艳

15717320868

20

真空电弧炉

WK-2

20062955

喻更生

18773287829

21

高真空立式烧结炉

ZM-30-16

20150245

龚伦军

15367326959

22

红外线热像仪

FLIR     GF309

18004300

郭进伟

18773226113

23

磁过滤离子注入复合专用处理设备

MF-600

19004383

齐福刚

15616732585

24

三维应变测量系统

Aramis     3D2M

20102572

郭进伟

18773226113

25

电池组装、测试系统

SUPer91220/750/900)

20141400

堵艳艳

15717320868

26

冷热二辊轧机

220*350     100吨

20150096

张德闯

15173253761

27

高温振动炉

XZWL-6-50

2020000186

朱旺

13469309308

28

高温电子万能试验机

WDW-5/5kN

2021004984

朱旺

13469309308

29

电化学测试系统

1260

20110333

朱旺

13469309308

30

铸造工艺模拟分析软件

工业版

2021009060

胡松松

16673200650

31

接触角测试系统

250-F1

20084018

彭万里

18773265875

32

白光干涉3D轮廓仪

Profilm3D

2020001668

王秀锋

13217323997

33

薄膜厚度光学自动成像系统

F50UV

20122986

钟向丽

15292299399

34

半导体测试仪+探针台

B1500A+EB8

20132228

宋宏甲

15173231103

35

全自动扫描开尔文探针

SKP5050-3

20084017

彭万里

18773265875

36

铁电分析仪

RT6000S

20100653

彭强祥

13187328283

37

超高真空激光外延系统

JZLMBE

20140510

宋宏甲

15173231103